Semiconductor business
半導(dǎo)體業(yè)務(wù)
MEMS微振鏡
所屬分類(lèi)：MEMS微振鏡 閱讀次數(shù)：15012 發(fā)布時(shí)間：2024-10-16
一種用于雙軸光學(xué)掃描的高性能振鏡。采用MEMS技術(shù)在硅襯底上形成鏡面，通過(guò)電磁驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)水平掃描和垂直掃描。
應(yīng)用場(chǎng)景
車(chē)載激光雷達(dá)
車(chē)載HUD
智能車(chē)燈
微投影
工業(yè)自動(dòng)化
醫(yī)療OCT
產(chǎn)品技術(shù)特點(diǎn)
水平：諧振式驅(qū)動(dòng)
垂直：線性驅(qū)動(dòng)
雙軸獨(dú)立驅(qū)動(dòng)，低串?dāng)_
大視場(chǎng)角（FOV）
體積小
低功耗
可靠性高，已通過(guò)內(nèi)部類(lèi)車(chē)規(guī)級(jí)可靠性測(cè)試
內(nèi)置角度和溫度傳感器
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